Airborne particle count
공기 부유 입자 측정

이 시험은0.1∼5μm범위에있는 공기부유입자의 농도측정하는 것이다.
부유입자 측정은 3가지 상태 (준공 상태, 비작업 상태, 운전 상태(작업시))에서 수행될 수 있다. ISO 14644-1에 따라 청정실의 공기 청정도 등급 분류를 검증 또는 확인하거나, ISO 14644-2에 따라 주기적인 측정을 하기 위하여 실시한다.

Airflow test
기류 시험 (풍속, 풍량, 환기횟수)

이 시험은 클린룸과 청정구역 내 풍속의 균일도와 급기 풍량을 측정하는 것이다.
단일 방향류 클린룸과 청정 구역에서는 풍속 분포를 측정하고, 비단일 방향류 클린룸에서는 급기 풍량을 측정한다. 단위 시간당 청정실로 공급되는 공기 체적을 확인하기 위하여 급기 풍량을 측정하며, 급기 풍량은 청정실의 환기 횟수를 계산하는데 사용될 수 있다. 급기 풍량은 최종 필터의 하류나 급기 덕트에서 측정되는데, 이 두 가지 방법 모두 알고있는 단면을 통과하는 공기의 속도를 측정하여 풍속과 면적을 곱하여 급기 풍량을 구한다.

Airflow direction test and visualization
기류방향 시험 및 가시화

설계/성능 사양과 일치하는 기류 방향 및 균일성을 확인하고, 필요하면 청정실에서 기류의 공간적 및 시간적 특징을 확인할 수 있다.

Air pressure difference test
차압(구역 간 압력차 시험)

청정실과 외부환경, 청정실 내 분리된 구역들 사이에 명시된 압력 차를 유지하기 위하여, 전체 청정실의 능력을 검증하는 것이다.

Microbiological Monitoring
미생물 모니터링

• Surface sampling (표면오염균 시험)
  Surface swabs(표면 샘플링)
  Contact plates.(접촉판, Rodac Plate)
• Settle plate test(낙하균시험)
  Passive Air Monitoring. (고정판, 수동 공기 모니터링)
• Volumetric air (부유균 시험, Airborne test)
  Active air sampling.(활성 공기 샘플링)
• Personnel monitoring (작업자 모니터링)
  Finger dabs/garments. (손/의복)